名目申明:
多晶硅硅片喷砂机:
1.接纳环球唐纳森脉冲式滤芯除尘体系, 环保结果好,无净化。
2、电控体系接纳触摸屏操纵,简略、便利、主动化水平高、不变性好、毛病率低。
3、装备宁静系数高,电控体系能主动检测出各类毛病率,并实时报警。
4、零件外表设想松散、新奇、风雅。
5、接纳吉川公司十多年研发设想的旋风分手器, 具备份量精度高,节流磨料。
6、加工效力高,针对性强,可合适多种大、小工件主动喷砂
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多晶硅硅片的出产工艺流程
1.切方磨圆
将矽单晶圆棒按尺寸请求,切割成矽单晶准方棒,并将切割
后的准方棒四角,用滚磨机磨圆。
2.酸洗
将检测及格的矽单晶准方棒放入配好的酸液中,撤除外表杂
质,使其洁净便于下道工序。
3.粘胶
将洁净清洁的矽单晶准方棒与工件板停止粘接。
4.切片
将粘好的矽单晶准方棒装置在切片机的切割工位上,经由过程设 定好的工艺参数,将其切割成片。
5.洗濯脱胶
将切割后的矽片停止预洗濯,撤除外表附着的切削液等杂质
,并将预洗濯后的矽片停止脱胶。
6.超声波洗濯
将脱过胶的矽片插在矽片盒里并放入超声波洗濯机中停止清
洗。
7.甩干
将超声波洗濯后的矽片连盒插在甩干机的甩干工位上,经由过程
离心和加热将其外表甩干。
8.检片包装
对矽片停止检测,首要包含外表、厚度、电阻率、TTV与翘
曲度等,并将检测后的矽片按品级和发货范例停止分类并包
装。